A study of 3D boss structure formation in anisotropic etching of Si (100) in aqueous KOH / A. S. Chernov, M. A. Chebanov, V. A. Gridchin, V. Y. Vasilyev, A. D. Byalik // 16 International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM) : [proc.], Altai, Erlagol, 29 June – 3 July 2015. – IEEE, 2015. – P. 83-86. - ISBN 978-1-4673-6718-9. - DOI: 10.1109/EDM.2015.7184494.
Подразделение:
Авторы:
Бялик Александр Давидович
Год публикации:
2015
Тип публикации:
Международные конференции (тезисы конференций)
Индексация:
РИНЦ
